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摘要：本申请公开了一种压电谐振器的频率调整方法及压电谐振器，其中，压电谐振器包括振动部以及锚定部，振动部包括器件层，以及第一沉积层和第二沉积层，第一沉积层具有第一待烧蚀区域，第二沉积层具有第二待烧蚀区域，频率调整方法包括：获取压电谐振器的第一当前中心频率；若第一当前中心频率偏离设计中心频率不小于第一预设阈值，则对第一待烧蚀区域进行第一激光烧蚀形成第一烧蚀光斑；获取压电谐振器的第二当前中心频率；若第二当前中心频率偏离设计中心频率小于第一预设阈值，且不小于第二预设阈值，则对第二待烧蚀区域进行第二激光烧蚀形成第二烧蚀光斑，第一烧蚀光斑的孔径大于第二烧蚀光斑的孔径。本申请可以兼顾频率调整效率和精度。
主权项：1.一种压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，所述压电谐振器包括用于振动的振动部，以及用于固定的锚定部，所述振动部和所述锚定部连接，所述振动部包括器件层，以及位于所述器件层相对两侧的第一沉积层和第二沉积层，所述第一沉积层具有第一待烧蚀区域，所述第二沉积层具有第二待烧蚀区域，所述频率调整方法包括：获取所述压电谐振器的第一当前中心频率；若所述第一当前中心频率偏离设计中心频率的第一偏离值不小于第一预设阈值，则对第一待烧蚀区域进行第一激光烧蚀形成至少一个第一烧蚀光斑，以使所述第一偏离值小于所述第一预设阈值；获取烧蚀后的所述压电谐振器的第二当前中心频率；若所述第二当前中心频率偏离所述设计中心频率的第二偏离值小于所述第一预设阈值，且不小于第二预设阈值，则对所述第二待烧蚀区域进行第二激光烧蚀形成至少一个第二烧蚀光斑，以使所述第二偏离值小于所述第二预设阈值，所述第一烧蚀光斑的孔径大于所述第二烧蚀光斑的孔径。
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百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 压电谐振器及其频率调整方法
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