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申请/专利权人：董帅圻
摘要：本发明是一种适用于ArF光刻胶的三苯基硫鎓盐光酸生成剂（光致产酸剂）次用于EUV光刻胶，也叫化学放大型它是先进半导体制造中的必须品；发明人设计出了一种新式反应制备三苯基硫盐以及完整光酸生成剂的办法制备，来提高生产高效率和产物纯度的制备这种光致产酸剂适用于工业化大批量生产，本发明使用了二苯基疏醚与卤苯在卤化银反应下制备三苯基硫盐最后再与酸反应得到的完整的光酸生成剂。
主权项：1.一种新式反应制备三苯基硫鎓盐光酸生成剂的方法，新颖性创新性和其特征在于使用卤苯ph-X在卤化银Ag-X条件下与二苯基硫醚C6H52S反应制备三苯基硫鎓盐。二苯基硫醚可以由一下化学反应制得2C6H5SH+H2O2→C6H52S+2H2O也可其他方法制得或购买。使用本技术制得的产物纯度高、产率高、简单。卤苯在卤化银条件下与二苯基硫醚制得三苯基硫鎓盐的化学式可简化表示为：C6H52S+C6H5X+AgX→C6H53S+X-+AgXX代表卤素。原料可以选择99%以上纯度的最佳这样制备出的产物基本上没有杂质。准备一个反应容器比如三口烧瓶等，之后把磁力搅拌器安装到三口烧瓶当中，连接冷凝管避免溶剂蒸发，通过一个口加入惰性气体以确保反应体系不受空气的影响加入有机溶剂，用滴定漏斗加入溴苯到烧瓶当中，称量二苯基硫酸（C6H5-S-C6H5）慢慢加入烧瓶中，保持搅拌，卤化银在搅拌的过程中加入逐渐加入。卤苯和二苯基硫醚摩尔比例为1:1或1:1.2卤化银比例适量或过量。反应搅拌速度适中，温度控制在60摄氏度或者40摄氏度。反应结束之后将反应溶液自然冷却至室温，将溶液中不溶沉淀过滤出来。之后再将溶液转移到旋转蒸发仪中蒸发溶剂得到粗品然后使其结晶干燥得到纯净的三苯基硫鎓盐，这种工艺制备出的三苯基硫鎓盐基本上没有杂质简单进一步提纯即可得到高纯度的，之后将纯化后的物质在真空干燥箱或其他烘箱中干燥去除残留溶剂之后结晶、干燥得到干燥的粉呈现白色至淡黄色得到的三苯基硫鎓盐C6H53S+X-。
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权利要求：
百度查询： 董帅圻 新式反应制备三苯基硫鎓盐光酸生成剂
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