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申请/专利权人:中国科学院理化技术研究所
摘要:本发明涉及一种式I所示的基于硫杂素馨烯的硫鎓盐单分子树脂及其制备方法。还涉及包含所述式I化合物的光刻胶组合物以及应用。本发明的化合物具有产酸和酸敏感双重功能,有助于实现了对酸扩散的调控和边缘粗糙度的有效降低。
主权项:1.一种化合物,其特征在于,其具有式I所示的结构: 其中:Ra1~Ra6相同或不同,彼此独立地选自H、羟基、C1-15烷氧基、或-ORb,所述Rb为具有酸敏感性的基团;A选自-S-或-S-S-;D选自-S-、-S-S-或-S+RY--;R选自未取代、或任选被一个、两个或更多个Rs1取代的C1-15烷基、-C1-15烷基-CO-C1-15烷基;Rs1选自NO2、卤素、C1-15烷基、C1-15烷氧基;Y–为阴离子,所述Y–选自卤离子、烷基磺酸根、卤代烷基磺酸根、对甲苯磺酸根、四氟硼酸根、六氟磷酸根或双三氟甲烷磺酰亚氨离子;所述具有酸敏感性的基团Rb为-CR1-O-R1、-CO-O-R1、-CH2-CO-O-R1、 其中R1相同或不同,独立地选自未取代或任选被一个、两个或更多个Rs2取代的如下基团:C1-15烷基、C3-20环烷基、C7-20桥环基;的环上任选被一个、两个或更多个Rs2取代;其中m为1至4的任一整数、表示基团与主体结构的连接键;Rs2相同或不同,彼此独立地选自如下基团:C1-8烷基、C1-8烷氧基、C3-10环烷基。
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权利要求:
百度查询: 中国科学院理化技术研究所 一种基于硫杂素馨烯的硫鎓盐单分子树脂及其制备方法和应用
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