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申请/专利权人：中科仪(南通)半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
摘要：本发明公开了一种具有环形级间气道结构的罗茨泵，包括环形气道本体，所述环形气道本体包括两个半圆弧槽所形成的空间，环形气道本体的半圆弧形槽采用与转子同心的圆弧形式，所述环形气道本体按照泵腔中心进行对称排布和两侧分流，所述半圆弧形槽与腔体中心孔之间保持有距离；当上一级排气量较大时，采用环形气道与直通式气道相结合的结构方案，本发明能够有效解决目前泵与级间进排气口返流大、影响极限真空的问题；解决目前排气量大，容积利用率不高的问题，以满足真空泵平稳、高效运行的抽气状态。
主权项：1.一种具有环形级间气道结构的罗茨泵，其特征在于，包括环形气道本体，所述环形气道本体包括两个半圆弧槽所形成的空间，环形气道本体的半圆弧形槽采用与转子同心的圆弧形式，所述环形气道本体按照泵腔中心进行对称排布和两侧分流，所述半圆弧形槽与腔体中心孔之间保持有距离；当上一级排气量较大时，将环形气道和直通式气道相结合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 一种具有环形级间气道结构的罗茨泵
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