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申请/专利权人：中科传感(佛山)科技有限公司
摘要：本发明公开一种高熵尖晶石型NTC热敏薄膜的制备方法，将氧化物粉末原料按比例混合均匀后放入到聚氨酯胶套中密封，通过冷等静压机一步压制成型，在马弗炉中烧结成尖晶石相高熵热敏陶瓷；然后在真空条件下，通过自动熔料程序对陶瓷进行电子束预熔处理，并通过自动镀膜工艺实现薄膜在衬底表面的沉积，在镀膜过程中进行离子束辅助沉积，最终得到具有良好NTC特性的热敏薄膜。本发明可实现在衬底上制备多种NTC热敏薄膜，制备过程简单，薄膜成分比例可控，可规模化生产，而且避免了现有NTC薄膜制备技术的薄膜高温成相与光刻工艺不兼容问题，从而拓宽了其在半导体领域的应用范围。
主权项：1.一种高熵尖晶石型NTC热敏薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a、陶瓷制备：将氧化物粉末原料按比例混合均匀后放入到聚氨酯胶套中密封，然后通过冷等静压机一步压制成型，在马弗炉中烧结成型，最后切割成大小相同的小方块，蒸发料为高熵氧化物材料；b、衬底清洗：依次采用丙酮、无水乙醇、去离子水和无水乙醇对衬底进行超声清洗，清洗后用高纯干燥氮气对衬底表面进行吹干处理；c、NTC热敏薄膜生长：将步骤a得到的一定量的陶瓷材料置于坩埚中，然后在真空条件下，通过自动熔料程序对陶瓷进行电子束预熔处理，并通过自动镀膜工艺实现薄膜步骤b得到的衬底表面的沉积，在镀膜过程中进行离子束辅助沉积，最终得到高熵尖晶石型NTC热敏薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科传感(佛山)科技有限公司 一种高熵尖晶石型NTC热敏薄膜的制备方法
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