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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明提供了一种曝光程式自动化验证方法、装置、设备及介质，所述曝光程式自动化验证方法包括：根据待曝光产品的产品信息及工艺信息，建立所述待曝光产品的曝光程式各标准参照项参数；结合所述待曝光产品的工艺信息，自动提取所述待曝光产品的曝光程式的各需求验证项参数，所述各需求验证项参数与所述各标准参照项参数具有相同格式；将所述曝光程式的各需求验证参数与各标准参照项参数进行自动比对，并输出所述曝光程式的验证结果。本发明用于提高确认曝光程式的高效性及准确性。
主权项：1.一种曝光程式自动化验证方法，其特征在于，包括：根据待曝光产品的产品信息及工艺信息，建立所述待曝光产品的曝光程式各标准参照项参数；结合所述待曝光产品的工艺信息，自动提取所述待曝光产品的曝光程式的各需求验证项参数，所述各需求验证项参数与所述各标准参照项参数具有相同格式；将所述曝光程式的各需求验证参数与各标准参照项参数进行自动比对，并输出所述曝光程式的验证结果。
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权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 曝光程式自动化验证方法、装置、设备及介质
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