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非球面玻璃透镜精密模压模具的镀膜方法 

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申请/专利权人:成都光明南方光学科技有限责任公司

摘要:本发明提供一种提高薄膜使用效果的非球面玻璃透镜精密模压模具的镀膜方法,该方法包括以下步骤:建立模具压型应力和非球面位置关系,模拟得到模具模压应力分布和最大应力位置;建立内应力与镀膜厚度的函数关系;建立在某一非球面关系下的理论镀膜厚度,根据理论镀膜厚度分拆为多个膜料束流分布;通过调控镀膜靶材起弧形成膜料束流的实际形状和沉积分布,镀制符合薄膜厚度分布的薄膜膜层。本发明通过建立应力与膜层性能的关系,镀制基于非球面变化的保护薄膜,强化外部应力集中区的薄膜性能,改善在模压过程中薄膜的非均匀变化,使得保护薄膜在模压过程受到的作用和影响是均匀的,从而提高薄膜使用效果。

主权项:1.非球面玻璃透镜精密模压模具的镀膜方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:1通过公式1一4建立模具压型应力和非球面位置关系公式5,带入计算机进行模拟得到模具模压应力分布和最大应力位置; 式1中,E、n、ω分别为杨氏模量、粘度和权重因子; 式2中,F、S、z、z0分别为模压力、面积、模具变化前后结构尺寸; 式3中,R为顶点曲率半径,k为二次曲线系数; 式4中,Tref、Tf分别为压型过程与材料有关的特征温度,T为压型温度,τv,ref为特征温度下的结构松弛时间,x为非线性常数,为材料化学性质决定的参数;σmax=f1z,y5;2设计镀膜工艺,镀制不同厚度的薄膜,然后测试薄膜内应力,得到镀膜厚度和内应力的散点关系,通过公式8拟合,得到有关常量,建立内应力与镀膜厚度的函数关系;σf=f2zf8;3根据模具模压应力分布、最大应力位置和内应力与镀膜厚度的函数关系,建立在某一非球面关系下的理论镀膜厚度,根据理论镀膜厚度分拆为多个膜料束流分布;4通过调控镀膜靶材起弧形成膜料束流的形状和沉积分布,镀制符合薄膜厚度分布的实际薄膜膜层。

全文数据:

权利要求:

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