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申请/专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
摘要：本发明提供了一种纳米多层Cr2AlCMAX相陶瓷涂层及其制备方法，属于陶瓷涂层技术领域。本发明采用直流磁控溅射技术，以金属Cr靶作为靶材，在基底表面沉积形成Cr过渡层；在所述Cr过渡层的表面同时沉积Cr和C，得到Cr‑C中间层；在所述Cr‑C中间层的表面沉积形成由Cr层、C层和Al层组成的依次累积的重复单元，按照上述顺序重复沉积，形成Cr‑Al‑C涂层；将所沉积的复合涂层进行真空热处理，自然冷却至室温，获得Cr2AlCMAX相陶瓷涂层。本发明构建了Cr‑Al‑C复合多层体系，所提供的MAX相涂层工艺的沉积温度低，在真空环境中经较短时间热处理即可获得Cr2AlC涂层，同时制备的MAX相涂层具有高纯度、高硬度、成分均匀、结构致密等优点。
主权项：1.一种纳米多层Cr2AlCMAX相陶瓷涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1以金属Cr为靶材，以惰性气体为工作气体，采用直流磁控溅射沉积，在基底表面沉积形成Cr过渡层；2在Cr过渡层表面同时沉积Cr和C，得到Cr-C中间层；3在Cr-C中间层表面同时沉积Cr、Al和C，得到由Cr、Al和C组成的依次累积的重复单元，重复沉积Cr、Al和C，得到Cr-Al-C复合涂层；4对沉积好的涂层进行真空热处理，得到Cr2AlCMAX相陶瓷涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院兰州化学物理研究所 一种纳米多层Cr2AlC MAX相陶瓷涂层及其制备方法
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