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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要：本发明公开了一种导电耐腐蚀固溶体MAX相复合涂层及其制法与应用。所述制法包括：采用高功率脉冲磁控溅射技术，在基体表面沉积形成第一Ti过渡层；采用高功率脉冲磁控溅射结合直流磁控溅射技术，在所述第一Ti过渡层表面沉积形成第一Ti‑Al‑Sn‑C层，之后进行一次真空热处理，从而形成TiC扩散层；采用高功率脉冲磁控溅射结合直流磁控溅射技术，在所述TiC扩散层表面沉积形成第二Ti‑Al‑Sn‑C层，之后进行二次真空热处理，从而获得固溶体MAX相复合涂层。本发明提供的复合涂层具有优异的耐蚀特性，在腐蚀后形成的Sn02钝化膜能够在酸性环境中稳定存在且具有优异的导电性能，从而提高金属基体在苛刻环境中的导电耐蚀性能。
主权项：1.一种导电耐腐蚀固溶体MAX相复合涂层的制备方法，其特征在于，包括：采用高功率脉冲磁控溅射技术，在基体表面沉积形成第一Ti过渡层；采用高功率脉冲磁控溅射结合直流磁控溅射技术，以Ti靶、AlSn合金靶、C靶作为靶材，在所述第一Ti过渡层表面沉积形成第一Ti-Al-Sn-C层，之后进行一次真空热处理，从而形成TiC扩散层；其中，所述TiC扩散层中的物相包括TiC相；以及，采用高功率脉冲磁控溅射结合直流磁控溅射技术，以Ti靶、AlSn合金靶、C靶作为靶材，在所述TiC扩散层表面沉积形成第二Ti-A1-Sn-C层，之后进行二次真空热处理，形成Ti2Al1-xSnxC固溶体层，从而获得导电耐腐蚀固溶体MAX相复合涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种导电耐腐蚀固溶体MAX相复合涂层及其制法与应用
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