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申请/专利权人：天津大学
摘要：本申请提供了一种金属膜辅助激光原子尺度加工方法，包括如下制备步骤：步骤1：在工件表面镀膜，步骤2、对镀膜工件表面进行脉冲激光单点辐照，获取辐照能量密度的初始值；步骤3、通过数值模拟方法对基底材料的原子层表面改性去除进行仿真，修正加工固定原子层数所需的激光能量大小；步骤4、脉冲激光辐照进行原子层级表面改性；步骤5、采用酸刻工艺对步骤3的表面改性层进行刻蚀获得去除表面改性层的原子层级。本申请通过在待加工工件表面沉积金属膜的方式，实现脉冲激光对表层镀膜材料的烧蚀，并借助金属原子的扩散作用完成在半导体晶体材料上的原子和近原子尺度的加工。
主权项：1.一种金属膜辅助激光原子尺度加工方法，其特征在于，包括如下制备步骤：步骤1、在工件表面镀膜；在工件基底材料的表面采用镀膜方法镀一层金属膜；步骤2、对镀膜工件表面进行脉冲激光单点辐照，获取辐照能量密度的初始值；根据基底材料的类型、镀膜金属膜的类型以及所采用的激光波长和脉宽，获取辐照能量密度的初始值；步骤3、通过数值模拟方法对基底材料的原子层表面改性去除进行仿真，修正加工固定原子层数所需的激光能量大小；根据步骤2获取的辐照能量密度的初始值，通过数值模拟方法进一步确定工件基底材料的原子层表面改性去除所需能量密度，修正待加工固定原子层数所需的激光能量，并确定原子级表面改性所需脉冲能量等工艺参数；步骤4、脉冲激光辐照进行原子层级表面改性；根据步骤3仿真得到的待加工固定原子层数所需的激光能量，使用激光辐照待加工的镀膜的工件表面，对工件基底进行原子层级表面改性加工，获得需要的表面加工图案；步骤5、采用酸刻工艺对步骤3的表面改性层进行刻蚀获得去除表面改性层的原子层级。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 一种金属膜辅助激光原子尺度加工方法
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