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摘要：本发明公开了一种多尺度微结构金刚石器件及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：1采用激光制备一级锥状微阵列结构：将金刚石材料置于加工平台，进行激光处理；2采用激光制备二级层状微结构：调整激光加工参数，进行激光处理；3三级表面微孔结构制备：将步骤2处理后的金刚石材料浸泡在电解液中，然后通电进行电解处理，并在电解过程中辅助超声波处理；所述电解液包含H2O2和铁源，所述电解液的pH值为2‑4。本发明的制备方法材料利用率高，能够加工大长径比、尖端锋锐、多级层状微结构的金刚石锥状阵列，可灵活调整阵列形态、密度、几何尺寸及微结构间距，组装方便，适宜大批量生产。
主权项：1.一种多尺度微结构金刚石器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1采用激光制备一级锥状微阵列结构：将金刚石材料置于加工平台，进行激光处理；2采用激光制备二级层状微结构：调整激光加工参数，进行激光处理；3三级表面微孔结构制备：将步骤2处理后的金刚石材料浸泡在电解液中，然后通电进行电解处理，并在电解过程中辅助超声波处理；所述电解液包含H2O2和铁源，所述电解液的pH值为2-4。
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百度查询： 广东工业大学 一种多尺度微结构金刚石器件及其制备方法
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