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摘要：本发明公开了一种温度一致的单晶金刚石生长基片台，本发明涉及单晶金刚石生长技术领域，生长基片台主体包括生长台、生长台上端连接的恒温机构以及生长台下端连接的稳定机构，生长台的上端从中向四周依次划分成内区域、中区域以及外区域，生长台上内区域与内筋固定连接，生长台上中区域与中筋固定连接，生长台上外区域与外筋固定连接，且内筋、中筋以及外筋的宽度按照顺序依次递减，本发明的优点在于：通过内筋、中筋以及外筋的宽度不同，能够使不同宽度的筋按照宽度依次放置在内区域、中区域以及外区域，使多个单晶金刚石均能快速连接起来，使多个单晶金刚石的温度保持一致，从而提高单晶金刚石生长质量的一致性。
主权项：1.一种温度一致的单晶金刚石生长基片台，包括生长基片台主体1，其特征在于：所述生长基片台主体1包括生长台11、生长台11上端连接的恒温机构以及生长台11下端连接的稳定机构，所述恒温机构包括内筋2、中筋3以及外筋4，所述生长台11的上端从中向四周依次划分成内区域7、中区域8以及外区域9，所述生长台11上内区域7与内筋2固定连接，所述生长台11上中区域8与中筋3固定连接，所述生长台11上外区域9与外筋4固定连接，且内筋2、中筋3以及外筋4的宽度按照顺序依次递减。
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百度查询： 无锡光钻半导体科技有限公司 一种温度一致的单晶金刚石生长基片台
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