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摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种大温度梯度的单晶炉导流筒和单晶炉；大温度梯度的单晶炉导流筒用于单晶炉，该导流筒包括外壳，外壳设置有容纳腔，容纳腔内设置有外筒和内筒；外筒的制备材料为聚丙烯腈基石墨毡、且其套设于内筒的外部，并与外壳的内壁贴合；内筒包括从下至上依次层叠设置的第一保温填充部、第二保温填充部和第三保温填充部；第一保温填充部包括黏胶基石墨毡层和聚丙烯腈基石墨毡层；第二保温填充部和第三保温填充部包括毡粉粘合填充物，第三保温填充部设置有通孔，且通孔贯穿外壳远离外筒的一侧侧壁。该大温度梯度的单晶炉导流筒能实现较大的轴向温度梯度的控制，以实现高质量的晶棒生长，并提高晶棒的生长效率。
主权项：1.一种大温度梯度的单晶炉导流筒，其特征在于，包括：外壳（210），所述外壳（210）设置有容纳腔，所述容纳腔内设置有外筒（100）和内筒（200）；其中，所述外筒（100）套设于所述内筒（200）的外部，且与所述外壳（210）的内壁贴合；所述外筒（100）的制备材料为聚丙烯腈基石墨毡；所述内筒（200）包括第一保温填充部（220）、第二保温填充部（230）和第三保温填充部（240）；所述第一保温填充部（220）、所述第二保温填充部（230）和所述第三保温填充部（240）沿所述外壳（210）的轴向从下至上依次层叠设置；所述第一保温填充部（220）包括黏胶基石墨毡层（2221）和聚丙烯腈基石墨毡层（2211）；所述第二保温填充部（230）和所述第三保温填充部（240）包括毡粉粘合填充物；所述第三保温填充部（240）设置有通孔（241），且所述通孔（241）贯穿所述外壳（210）远离所述外筒（100）的一侧侧壁。
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百度查询： 苏州晨晖智能设备有限公司 大温度梯度的单晶炉导流筒和单晶炉
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