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摘要:本申请公开了一种晶体生长炉,该晶体生长炉包括机架、提拉组件、副炉室、主炉室、坩埚和夹持组件。提拉组件至少部分设置于机架上并包括提拉绳;副炉室由机架支撑并至少部分位于提拉组件的下侧;主炉室由机架支撑并至少部分位于副炉室的下侧;坩埚至少部分位于主炉室内;夹持组件位于副炉室内,夹持组件包括稳定机构和驱动机构,稳定机构套设于提拉绳上;驱动机构传动连接至稳定机构,以驱动稳定机构跟随提拉绳升降。通过上述设置,可以提高提拉绳的稳定性。
主权项:1.一种晶体生长炉,包括:机架;提拉组件,至少部分设置于所述机架上并包括提拉绳;副炉室,由所述机架支撑并至少部分位于所述提拉组件的下侧;主炉室,由所述机架支撑并至少部分位于所述副炉室的下侧;坩埚,至少部分位于所述主炉室内;其特征在于,所述晶体生长炉还包括:夹持组件,位于所述副炉室内,所述夹持组件包括:稳定机构,套设于所述提拉绳上;驱动机构,传动连接至所述稳定机构,以驱动所述稳定机构跟随所述提拉绳升降。
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百度查询: 浙江晶盛机电股份有限公司 晶体生长炉
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