龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本公开提出了一种铁电晶体管的栅极退火方法，包括：在衬底上形成NP阱层、源极和漏极，其中，源极和漏极形成于NP阱层的两端；在源极区域和漏极区域沉积形成激光反射层；通过原子层沉积工艺，在栅极区域沉积铁电材料，形成铁电层，对铁电层进行表面富氮处理，以在铁电层的表面形成界面氮吸附层；在形成有界面氮吸附层的铁电层上沉积氮化钛作为盖帽层，以保证铁电层的相稳定，通过激光退火处理，诱导铁电层产生铁电相；在盖帽层上沉积导电金属，以形成栅金属叠层。本公开还提出了基于前述栅极退火方法得到的栅极结构以及铁电晶体管。
主权项：1.一种铁电晶体管的栅极退火方法，包括：在衬底上形成NP阱层、源极和漏极，其中，所述源极和所述漏极形成于所述NP阱层的两端；在源极区域和漏极区域沉积形成激光反射层；通过原子层沉积工艺，在所述栅极区域沉积铁电材料，形成铁电层，对所述铁电层的上表面进行表面富氮处理，以在所述铁电层的上表面形成界面氮吸附层；在形成有界面氮吸附层的铁电层上沉积氮化钛作为盖帽层，以保证所述铁电层的相稳定，通过激光退火处理，诱导所述铁电层产生铁电相；在所述盖帽层上沉积导电金属，以形成栅金属叠层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 铁电晶体管的栅极退火方法以及栅极结构、铁电晶体管
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号