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摘要：本实用新型公开一种氧化镓晶体生长装置，包括生长炉和冷却机构，生长炉包括底座、侧保温筒和加热线圈，底座、侧保温筒与盖板围成生长腔体，并内置坩埚组件，盖板包括外侧盖板和中心盖板，加热线圈、底座以及坩埚组件保持固定，侧保温筒以及外侧盖板相对于底座往复滑动能够改变生长腔体的容积，中心盖板活动设置于散热孔处，也可以受控升降；在氧化镓晶体生长过程中，生长腔体内的热量也可以沿籽晶杆导出生长炉外部，确保引晶稳定性；侧保温筒相对于底座向上滑动，压缩热腔体积，使晶体和散热孔的间距缩短，能够增强热量导出效果。还可可使中心盖板向上滑动使其逐渐与外侧盖板分离，能够使生长腔体内的热量经由散热孔散发出来，由冷却机构吸收。
主权项：1.一种氧化镓晶体生长装置，其特征在于，包括：生长炉，所述生长炉为分体式结构，所述生长炉包括底座、侧保温筒、加热线圈以及盖板，所述加热线圈位于所述侧保温筒的外部并能够对其进行加热，所述侧保温筒可滑动地设置于所述底座与所述加热线圈之间；所述盖板位于所述侧保温筒的顶部，且所述底座、所述侧保温筒以及所述盖板围成生长腔体，所述生长腔体内设置有能够容纳氧化镓熔体的坩埚组件，所述侧保温筒相对于所述底座往复滑动能够改变所述生长腔体的容积；所述盖板包括外侧盖板和中心盖板，所述外侧盖板与所述侧保温筒相连，所述外侧盖板具有散热孔，所述散热孔与所述生长腔体相连通，所述散热孔与所述侧保温筒同轴设置，所述中心盖板滑动设置于所述散热孔处，所述中心盖板的滑动方向平行于所述散热孔的轴线，且所述中心盖板能够封堵所述散热孔，籽晶杆可滑动地穿过所述中心盖板后伸入所述生长腔体内，所述籽晶杆与所述散热孔同轴设置；所述盖板由绝热材质制成；冷却机构，所述冷却机构设置于所述盖板的顶部，所述冷却机构能够吸收所述生长腔体利用所述散热孔散发的热量。
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百度查询： 杭州镓仁半导体有限公司 一种氧化镓晶体生长装置
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