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摘要:本发明公开一种晶体管及其制造方法。所述晶体管包括基底、集极、基极、射极以及扩散障碍层。所述集极设置于所述基底上。所述基极设置于所述集极上。所述射极设置于所述基极上。所述扩散障碍层设置于所述基极与所述射极之间。所述基极的上部包括掺杂层,且所述扩散障碍层设置于所述掺杂层上。所述射极、所述掺杂层与所述集极为第一导电型,且所述基极的其余部分为第二导电型。
主权项:1.一种晶体管,其特征在于,包括:基底;集极,设置于所述基底上;基极,设置于所述集极上;射极,设置于所述基极上;以及扩散障碍层,设置于所述基极与所述射极之间;其中所述基极的上部包括掺杂层,所述扩散障碍层设置于所述掺杂层上,且其中所述射极、所述掺杂层与所述集极为第一导电型,且所述基极的其余部分为第二导电型,其中所述基极包括:硅锗层,设置于所述集极上;以及经掺杂的碳化硅锗层,设置于所述硅锗层上;以及所述掺杂层,设置于所述经掺杂的碳化硅锗层上。
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百度查询: 力晶积成电子制造股份有限公司 晶体管及其制造方法
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