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摘要：本公开提出了一种铁电晶体管的栅极堆叠结构，包括栅氧层、铁电相种子层、铁电层、隔离层、盖帽层和栅极金属填充层。其中，铁电相种子层为具有纳米铁电微晶的氧化锆，其中，第一铁电相种子层形成于栅氧层之上；铁电层形成于第一铁电相种子层和第二铁电相种子层之间，以依附氧化锆形成规则的铁电相结晶，以使铁电层具有自发极化状态；隔离层形成于铁电层之上，隔离层适用于抑制铁电层中的氧扩散，以缓解铁电层形成界面氧空位；盖帽层形成于隔离层之上，盖帽层适用于稳定铁电层中铁电相结晶的正交相，以增强铁电层的铁电特性。在本公开的另一方面还提出了一种如前述栅极堆叠结构的制备方法，以及具有前述栅极堆叠结构的铁电晶体管。
主权项：1.一种铁电晶体管的栅极堆叠结构，包括：栅氧层，适用于形成绝缘结构，以减小栅极漏电，增强栅极电压对沟道载流子的控制，控制所述铁电晶体管开关和工作电流；铁电相种子层，包括第一铁电相种子层和第二铁电相种子层，所述铁电相种子层为具有纳米铁电微晶的氧化锆，其中，所述第一铁电相种子层形成于所述栅氧层之上；铁电层，形成于所述第一铁电相种子层和所述第二铁电相种子层之间，以依附所述氧化锆形成规则的铁电相结晶，以使所述铁电层具有自发极化状态，根据栅极电压信号对极化状态的改变，调控沟道电流的阈值电压漂移；隔离层，形成于所述第二铁电相种子层之上，所述隔离层适用于抑制所述铁电层中的氧扩散，以缓解所述铁电层形成界面氧空位；盖帽层，形成于所述隔离层之上，所述盖帽层适用于稳定所述铁电层中铁电相结晶的正交相，以增强所述铁电层的铁电特性。
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百度查询： 中国科学院微电子研究所 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 铁电晶体管的栅极堆叠结构和制备方法、铁电晶体管
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