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摘要:本申请提供一种炉体及工艺炉,涉及半导体设备技术领域,该炉体包括炉管、炉门、密封机构和两个第一支撑机构。炉管沿第一方向延伸的一端具有炉口,密封机构设置于炉管朝向炉口的一端,炉门通过密封机构与炉管相连并通过密封机构密封炉口,两个第一支撑机构在垂直于第一方向的第二方向上间隔排布,炉管位于两个第一支撑机构之间,两个支撑机构用于与工艺炉的主体部相连,两个第一支撑机构用于支撑炉管,从而能够降低炉管在高温下受重力作用下垂的几率,提高了炉体的使用稳定性以及使用寿命。
主权项:1.一种炉体,其特征在于,包括炉管、炉门、密封机构和两个第一支撑机构;所述炉管沿第一方向延伸的一端具有炉口;所述密封机构设置于所述炉管朝向所述炉口的一端,所述炉门通过所述密封机构与所述炉管相连并通过所述密封机构密封所述炉口;两个所述第一支撑机构在垂直于所述第一方向的第二方向上间隔排布,所述炉管位于两个所述第一支撑机构之间,两个所述第一支撑机构用于与工艺炉的主体部相连,两个所述第一支撑机构用于支撑所述炉管。
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百度查询: 赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司 炉体及工艺炉
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