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申请/专利权人：康盟特气电子科技(荆门)有限公司
摘要：本发明涉及氟气分离纯化的技术领域，特别是涉及一种高纯氟气分离纯化设备，包括第一罐体和提升筒，提升筒安装在第一罐体内侧壁上，提升筒下部设置有进料口，进料口与第一罐体内相通；还包括加热装置、降温装置、收集装置、提升装置、第一阀门、第一输送管、第二输送管、第二阀门和过滤网，多组第一阀门均连通设置在提升筒外侧壁上部，并且多组第一阀门输出端与第一罐体内相通，第一输送管输出端连通设置在提升筒上部，第二输送管连通设置在提升筒外侧壁上部，第二阀门连通设置在第二输送管上，第二输送管输出端与加热装置连通；其提高对氟气的分离纯化效果，提高吸附剂循环使用的便利性，降低氟气纯化加工成本。
主权项：1.一种高纯氟气分离纯化设备，包括第一罐体101和提升筒102，提升筒102安装在第一罐体101内侧壁上，提升筒102下部设置有进料口，进料口与第一罐体101内相通；其特征在于，还包括加热装置、降温装置、收集装置、提升装置、第一阀门103、第一输送管104、第二输送管105、第二阀门106和过滤网107，多组第一阀门103均连通设置在提升筒102外侧壁上部，并且多组第一阀门103输出端与第一罐体101内相通，第一输送管104输出端连通设置在提升筒102上部，第二输送管105连通设置在提升筒102外侧壁上部，第二阀门106连通设置在第二输送管105上，第二输送管105输出端与加热装置连通，加热装置用于将吸附剂加热，并且加热装置用于将氟气预热处理，第一输送管104输入端与加热装置连通，降温装置与加热装置连通，降温装置用于将氟气降温，过滤网107设置在提升筒102内底部，提升筒102底部与收集装置连通，收集装置用于将提纯后的氟气收集，提升装置设置在提升筒102内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 康盟特气电子科技(荆门)有限公司 一种高纯氟气分离纯化设备
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