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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够迅速且准确地对基板处理装置的状态进行诊断。信息处理装置包括：基准信息获取部，获取成为基准的相当于基板处理装置的基准装置中的基准处理片数及基准装置信息以作为基准信息；比较信息获取部，获取成为基准装置的比较对象的相当于基板处理装置的比较装置中的比较处理片数及比较装置信息以作为比较信息；以及诊断处理部，基于基准信息及比较信息，生成包含基准处理片数与比较处理片数产生差异时的原因、及用于消除差异的对策中的至少一个的诊断信息。
主权项：1.一种信息处理装置，对基板处理装置的状态进行诊断，所述基板处理装置包括：基板处理单元，进行对基板的基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述信息处理装置包括：基准信息获取部，获取基准处理片数及基准装置信息以作为基准信息，所述基准处理片数表示在成为基准的相当于所述基板处理装置的基准装置中执行反复进行所述基板处理及所述搬送处理的基准处理动作时的每单位时间的所述基板的处理片数，所述基准装置信息与执行所述基准处理动作时的所述基准装置相关；比较信息获取部，获取比较处理片数及比较装置信息以作为比较信息，所述比较处理片数表示在成为所述基准装置的比较对象的相当于所述基板处理装置的比较装置中执行反复进行所述基板处理及所述搬送处理的比较处理动作时的每单位时间的所述基板的处理片数，所述比较装置信息与执行所述比较处理动作时的所述比较装置相关；以及诊断处理部，基于由所述基准信息获取部获取的所述基准信息与由所述比较信息获取部获取的所述比较信息，生成包含所述基准处理片数与所述比较处理片数产生差异时的原因、及用于消除所述差异的对策中的至少一个的诊断信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法
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