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申请/专利权人：聚时科技(上海)有限公司
摘要：本发明涉及半导体检测技术领域，涉及一种晶圆放置台，尤其是涉及一种多自由度运动装置及晶圆承载装置。通过在运动轴上设置气浮套，通过设置三个具有气浮结构的限位柱以及间接与运动轴连接的三个轴向位移电机，能够实现运动轴在轴向和周向的运动稳定性，并实现高精度高频率高响应的竖直方向运动和旋转运动。
主权项：1.一种多自由度运动装置，其特征在于，包括：运动轴，穿设放置座并基于外部动力源可沿轴向或和周向进行运动；辅助机构，包括套接于所述运动轴的第一限位件，所述第一限位件为所述运动轴提供轴向运动导向；所述第一限位件与所述运动轴之间为非接触，且在间隙中填充有流体，对所述运动轴产生周向支撑力和轴向导向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 聚时科技(上海)有限公司 一种多自由度运动装置及晶圆承载装置
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