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申请/专利权人：天津大学

摘要：本发明公开一种带光路漂移补偿的收发分体式五自由度测量装置及方法，测量装置包括由激光器、第一棱镜反射镜、第一分光镜、第二分光镜、第二棱镜反射镜、第四分光镜、第二凸透镜、第二二维位置敏感探测器、第三凸透镜和第三二维位置敏感探测器构成的激光发射端；由第三分光镜、第一四象限探测器、第一凸透镜、第一二维位置敏感探测器和第二四象限探测器构成的激光接收端；使用该测量装置时将激光发射端安装在数控机床待测轴的固定位置，激光接收端安装在数控机床待测轴的滑台上；本发明可实现俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度及竖直直线度的同时测量，实现远距离测量；可消除激光角度漂移对五自由度测量的影响，提高测量精度。

主权项：1.一种带光路漂移补偿的收发分体式五自由度测量装置，其特征在于，包括激光器1、第一棱镜反射镜2、第一分光镜3、第二分光镜4、第三分光镜5、第一四象限探测器6、第一凸透镜7、第一二维位置敏感探测器8、第二棱镜反射镜9、第四分光镜10、第二四象限探测器11、第二凸透镜12、第二二维位置敏感探测器13、第三凸透镜14和第三二维位置敏感探测器15；所述激光器1、第一棱镜反射镜2、第一分光镜3、第二分光镜4、第二棱镜反射镜9、第四分光镜10、第二凸透镜12、第二二维位置敏感探测器13、第三凸透镜14和第三二维位置敏感探测器15构成激光发射端16；所述第三分光镜5、第一四象限探测器6、第一凸透镜7、第一二维位置敏感探测器8和第二四象限探测器11构成激光接收端17；使用该测量装置时将激光发射端16安装在数控机床待测轴的固定位置，激光接收端17安装在数控机床待测轴的滑台上；激光器1发出激光，激光被第一棱镜反射镜2反射后，再经过第一分光镜3后分成两束激光，透过第一分光镜3的激光经过第二分光镜4后分成两束激光，透过第二分光镜4的激光经过第三分光镜5后分成两束激光，透过第三分光镜5的激光照射到第一四象限探测器6上，实现水平直线度与竖直直线度的测量，并作为该测量装置的二维直线度测量结果；被第三分光镜5反射的激光经过第一凸透镜7聚焦在第一二维位置敏感探测器8上，实现俯仰角、偏摆角测量；被第二分光镜4反射的激光经过第二凸透镜12聚焦在第二二维位置敏感探测器13上，实现透过第二分光镜4的激光角度漂移测量；被第一分光镜3反射的激光被第二棱镜反射镜9反射，被第二棱镜反射镜9反射的激光经过第四分光镜10后分成两束激光，透过第四分光镜10后的激光照射到第二四象限探测器11上，实现水平直线度与竖直直线度的测量，该测量装置只利用第二四象限探测器11的竖直方向直线度，并结合第一四象限探测器6的竖直方向直线度实现滚转角测量；被第四分光镜10反射的激光经过第三凸透镜14聚焦在第三二维位置敏感探测器15上，实现透过第四分光镜10的激光角度漂移测量。

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百度查询： 天津大学 带光路漂移补偿的收发分体式五自由度测量装置及方法