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申请/专利权人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种UV固化腔及半导体制造设备。UV固化腔包括上下依次设置的UV灯组件、底座组件及UV腔室；UV灯组件包括至少一个UV灯；底座组件包括呈环形分布的反射板以及设置在反射板外围的微调装置；微调装置包括支撑架、X向移动件、Y向移动件及Z向移动件，各移动件可对反射板进行对应方向的位置调节，X向、Y向和Z向相互垂直；支撑架与反射板连接，自上而下包括相互配合的第一支架、第二支架及第三支架，相邻的两个支架上对应设置有相互配合的X向导槽、X向滑块、Y向导槽及Y向滑块；X向移动件、Y向移动件及Z向移动件均包括相互配合的螺旋调节螺钉主动件及从动件，Z向移动件为差动调节。本发明有助于提高光照均匀性。
主权项：1.一种UV固化腔，其特征在于，所述UV固化腔包括自上而下依次设置的UV灯组件、底座组件及UV腔室；所述UV灯组件通过底座组件固定于UV腔室上，包括至少一个UV灯；所述底座组件包括呈环形分布的反射板以及设置在反射板外围，且与反射板连接，以在需要时对反射板位置进行调整的微调装置；所述微调装置包括支撑架、X向移动件、Y向移动件及Z向移动件，各移动件可对反射板进行对应方向的位置调节，X向、Y向和Z向相互垂直；所述支撑架与反射板连接，自上而下包括相互配合的第一支架、第二支架及第三支架，相邻的两个支架上对应设置有相互配合的X向导槽、X向滑块、Y向导槽及Y向滑块；所述X向移动件、Y向移动件及Z向移动件均包括相互配合的螺旋调节螺钉主动件及从动件；各移动件的主动件均穿过位于支撑架上的通孔直至与对应的从动件螺纹配合，X向移动件和Y向移动件的从动件各自抵接在支撑架上的不同斜楔块的非斜面部的锥形座内，与X向移动件和Y向移动件抵接的斜楔块各自与支撑架上的不同斜楔块斜面配合，在X向移动件和Y向移动件的推动下，相互配合的斜楔块沿斜面发生相对位移，Z向移动件的从动件抵接在支撑架上另一斜楔块的斜面的锥形座内，Z向移动件为差动螺旋调节以及X向移动件及Y向移动件中的至少一个为差动螺旋调节。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 UV固化腔及半导体制造设备
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