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申请/专利权人：安徽有研吸气新材料股份有限公司
摘要：本实用新型属于吸气材料制备技术领域，具体涉及一种吸气材料制备用物理气相沉积设备，包括工作台，所述工作台上表面一侧固定有真空腔体，所述真空腔体顶部安装有密封盖，所述密封盖外侧设置有把手，所述密封盖对真空腔体顶部密封，所述真空腔体表面开设有环形凹槽，所述环形凹槽内侧固定有透明玻璃层，所述环形凹槽内侧上下表面均匀设置有限位孔，所述环形凹槽内侧转动有安装环，在真空腔体表面设置有环形透明玻璃，同时为了提高设备的强度，在透明玻璃外侧设置有可进行转动的安装环，通过安装环外侧的透明贯穿窗可通过外部对设备内部进行观察，并可根据使用情况调整观察窗的位置。
主权项：1.一种吸气材料制备用物理气相沉积设备，包括工作台1，其特征在于：所述工作台1上表面一侧固定有真空腔体4，所述真空腔体4顶部安装有密封盖5，所述密封盖5外侧设置有把手6，所述密封盖5对真空腔体4顶部密封，所述真空腔体4表面开设有环形凹槽8，所述环形凹槽8内侧固定有透明玻璃层7，所述环形凹槽8内侧上下表面均匀设置有限位孔9，所述环形凹槽8内侧转动有安装环11，所述安装环11置于透明玻璃层7外侧，所述安装环11与真空腔体4外表面平齐，所述安装环11外侧设置有对接筒12，所述对接筒12贯穿安装环11主体，所述对接筒12背离安装环11的一端通过螺栓固定有连接密封板13，所述连接密封板13内侧镶嵌有透明观察窗14，所述安装环11靠近对接筒12的一侧上下表面对称开设有安装孔15，所述安装孔15内侧滑动安装有限位栓16，所述限位栓16端部与限位孔9内部尺寸相适配。
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