龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
摘要：本申请涉及化学气相沉积的技术领域，一种化学气相沉积炉包括沉积炉本体、马弗罐和放置机构，沉积炉本体设有工作腔，马弗罐嵌于工作腔内，放置机构包括下层料盘、中层料盘、上层料盘和中气柱，中气柱同轴嵌于马弗罐内，下层料盘、中层料盘和上层料盘同轴连接于中气柱外周，下层料盘、中层料盘和上层料盘沿中气柱轴线间隔分布，中气柱外周均匀分布有若干连通孔，内腔进气口连通工作腔和外界。将炭源气体从内腔进气口通入马弗罐内侧，设置中气柱，将炭源气体均匀分布到下层料盘、中层料盘、上层料盘，使得下层料盘、中层料盘、下层料盘处炭源气体的浓度相等，增强中层料盘、下层料盘处的沉积效果，降低制备工艺时间，提高设备的生产效率。
主权项：1.一种化学气相沉积炉，其特征在于：包括沉积炉本体（1）、马弗罐（2）和放置机构（3）；所述沉积炉本体（1）设有工作腔（11）；所述马弗罐（2）嵌于工作腔（11）内；所述放置机构（3）包括下层料盘（31）、中层料盘（32）、上层料盘（33）和中气柱（34）；所述中气柱（34）同轴嵌于马弗罐（2）内；所述下层料盘（31）、中层料盘（32）和上层料盘（33）同轴连接于中气柱（34）外周；所述下层料盘（31）、中层料盘（32）和上层料盘（33）沿中气柱（34）轴线依次排列；所述中气柱（34）外周均匀分布有若干气孔；所述沉积炉本体（1）下端设有内腔进气口（1011）；所述内腔进气口（1011）连通马弗罐（2）内侧和外界。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种化学气相沉积炉
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号