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申请/专利权人：江苏汉印机电科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种衬底承载结构及其气相外延生长装置，涉及半导体制造技术领域，旨在解决衬底装卸费时费力的技术问题，包括基座，基座内部中空形成安装腔，基座顶端均匀布置有若干放置槽，放置槽上呈环形等间距结构布置有若干定位组件，安装腔内布置有若干调节机构，调节机构顶端与对应的若干定位组件活动连接，任意相邻两个调节机构啮合连接；放置槽中心位置开设有与安装腔相连通的滑孔，安装腔内相对若干滑孔位置布置有若干顶升机构，顶升机构顶端与滑孔活动连接，顶升机构顶端构成装卸平面，顶升机构与调节机构啮合连接；基座顶端布置有手动旋转机构，手动旋转机构底端与对应的调节机构固定连接。本发明具有衬底装卸省时省力的优点。

主权项：1.一种衬底承载结构，其特征在于，包括基座（1），所述基座（1）内部中空形成安装腔（11），所述基座（1）顶端均匀布置有若干放置槽（12），所述放置槽（12）上呈环形等间距结构布置有若干定位组件（2），所述安装腔（11）内相对若干所述放置槽（12）位置布置有若干调节机构（3），所述调节机构（3）顶端与对应的若干所述定位组件（2）活动连接，任意相邻两个所述调节机构（3）啮合连接；所述放置槽（12）中心位置开设有与所述安装腔（11）相连通的滑孔（13），所述安装腔（11）内相对若干所述滑孔（13）位置布置有若干顶升机构（4），所述顶升机构（4）顶端与所述滑孔（13）活动连接，所述顶升机构（4）顶端构成装卸平面，所述顶升机构（4）与所述调节机构（3）啮合连接；所述基座（1）顶端相对其中一个所述调节机构（3）位置布置有手动旋转机构（5），所述手动旋转机构（5）底端与对应的所述调节机构（3）固定连接；所述放置槽（12）上呈环形等间距结构开设有若干定位滑槽（14），所述定位滑槽（14）底端连通设有向心滑槽（15），所述向心滑槽（15）与所述安装腔（11）连通；所述定位组件（2）包括定位板（21）及向心滑块（22），所述定位板（21）滑动设于所述定位滑槽（14）上，所述向心滑块（22）滑动设于所述向心滑槽（15）上，所述向心滑块（22）顶端与所述定位板（21）固定连接，所述向心滑块（22）底端固设有活动杆（23）；所述调节机构（3）包括环块A（31），所述环块A（31）转动设于所述安装腔（11）上，所述环块A（31）顶端固设有调节圆板（32），所述调节圆板（32）顶端相对对应的若干所述向心滑槽（15）位置开设有若干向心导槽（33），所述活动杆（23）底端与所述向心导槽（33）活动连接，所述环块A（31）外缘面上固设有外齿环（34），任意相邻两个所述外齿环（34）啮合连接，所述环块A（31）内缘面上固设有内齿环（35）；所述基座（1）顶端相对其中一个所述调节机构（3）位置开设有活动槽A（16），所述活动槽A（16）底端连通设有转槽（17），所述转槽（17）底端连通设有活动槽B（18）；所述手动旋转机构（5）包括转环（51）及L型块（52），所述转环（51）转动设于所述转槽（17）内，所述L型块（52）固设于对应的所述环块A（31）外缘面上，所述L型块（52）顶端穿入所述活动槽B（18）并与所述转环（51）固定连接，所述转环（51）上布置有阻尼组件（53）。

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