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申请/专利权人：昆山基侑电子科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体公开了一种机械手上下安全防护装置，包括晶舟夹持机构，还包括铰接座和底板，底板由外部动力机构驱动升降，铰接座固定设置在底板的上方，晶舟夹持机构与铰接座相铰接，晶舟夹持机构上设置有用于检测其是否发生翘动的微动开关，本实用新型通过将晶舟夹持机构铰接在铰接座上，在外部动力机构驱动底板升降过程中，若晶舟夹持机构碰到槽盖或者槽体则能被微动开关快速感应，从而能够控制晶舟夹持机构停止运行，避免了晶圆损坏、槽体破损、手臂变型等重大的经济损失。
主权项：1.一种机械手上下安全防护装置，包括晶舟夹持机构10，其特征在于，还包括铰接座30和底板20，所述底板20由外部动力机构驱动升降，所述铰接座30固定设置在底板20的上方，所述晶舟夹持机构10与铰接座30相铰接，所述晶舟夹持机构10上设置有用于检测其是否发生翘动的微动开关40。
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权利要求：
百度查询： 昆山基侑电子科技有限公司 一种机械手上下安全防护装置
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