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申请/专利权人：广州亦盛环保科技有限公司
摘要：本发明属于抛光材料技术领域，特别涉及一种单晶硅的抛光液及其制备方法和应用。本发明单晶硅的抛光液包括磨料、助溶剂、氧化剂、润滑剂、分散剂、PH调节剂；磨料为改性碳化硼，改性碳化硼为采用硬脂酸对碳化硼进行改性得到。本发明通过各组分的共同作用，可提高抛光液的抛光效率及抛光后的表面质量。此外，采用改性碳化硼作为抛光液磨料可提高硅片的抛光效率，同时，使用硬脂肪酸对碳化硅进行改性，使得改性碳化硼具备优良的悬浮性及分散性，克服了碳化硼磨料易造成硅片划伤的缺陷，提高产品的表面质量。
主权项：1.一种抛光液，其特征在于，包括磨料、助溶剂、氧化剂、润滑剂、分散剂、pH调节剂；所述磨料为改性碳化硼，所述改性碳化硼为采用硬脂酸对碳化硼进行改性得到。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州亦盛环保科技有限公司 一种单晶硅的抛光液及其制备方法和应用
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