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一种基于MIL-101(Fe)的化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法 

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申请/专利权人:杭州电子科技大学

摘要:本发明公开了一种基于MIL‑101Fe的化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法,抛光液A包括:0.5wt%~1wt%的MIL‑101Fe、20wt%~50wt%的磨料、0.1wt%~0.5wt%的pH调节剂、0.01wt%~0.05wt%的缓蚀剂、0.2wt%~1wt%的分散剂及余量为去离子水;抛光液B包括:1wt%~5wt%的过氧化氢及余量为去离子水。本发明所提供的双组份型抛光液,不仅可防止过氧化氢对其他有机组分的氧化作用,还可降低其无效分解;同时添加MIL‑101Fe可催化过氧化氢生成氢氧自由基,并在可见光辐照作用下,光生电荷可实现FeII循环再生,提高抛光效果和抛光效率。

主权项:1.一种基于MIL-101Fe的化学机械抛光液,其特征在于,包括抛光液A和抛光液B;所述抛光液A包括以下重量百分比的组分:0.5wt%~1wt%的MIL-101Fe、20wt%~50wt%的磨料、0.1wt%~0.5wt%的pH调节剂、0.01wt%~0.05wt%的缓蚀剂、0.2wt%~1wt%的分散剂以及余量为去离子水;所述抛光液B包括以下重量百分比的组分:1wt%~5wt%的过氧化氢以及余量为去离子水。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 杭州电子科技大学 一种基于MIL-101(Fe)的化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法

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