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申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
摘要:本公开实施例提供了一种反熔丝单元、反熔丝阵列及存储器,其中,反熔丝单元包括:基底;基底包括有源区、以及位于有源区中的第一掺杂区;第一栅极结构和第二栅极结构,位于第一掺杂区沿第一方向两侧的有源区的表面;其中,有源区包括沿第三方向延伸的第一对相邻面,第一对相邻面之间构成第一夹角;第一夹角的顶点与有源区顶表面具有第一交点,第一交点位于第一栅极结构在有源区上的投影区域内;第一夹角小于180度;第一方向与第一掺杂区的延伸方向垂直,且位于基底所在的平面内;第三方向与基底所在的平面相交。
主权项:1.一种反熔丝单元,其特征在于,包括:基底;所述基底包括有源区、以及位于所述有源区中的第一掺杂区;第一栅极结构和第二栅极结构,位于所述第一掺杂区沿第一方向两侧的所述有源区的表面;其中,所述有源区包括沿第三方向延伸的第一对相邻面,所述第一对相邻面之间构成第一夹角;所述第一夹角的顶点与所述有源区顶表面具有第一交点,所述第一交点位于所述第一栅极结构在所述有源区上的投影区域内;所述第一夹角小于180度;所述第一方向与所述第一掺杂区的延伸方向垂直,且位于所述基底所在的平面内;所述第三方向与所述基底所在的平面相交。
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百度查询: 长鑫存储技术有限公司 反熔丝单元、反熔丝阵列及存储器
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