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申请/专利权人：ICT半导体集成电路测试有限公司
摘要：描述了一种在带电粒子束成像装置中确定由聚焦透镜120朝向样品平面pS聚焦的带电粒子束11的能谱或能宽的方法。所述方法包括a引入带电粒子束11的能量相关偏转，所述能量相关偏转导致光斑沿着样品平面pS中的色散轴变宽，并且使用带电粒子束获取布置在样品平面中的样品10的图像；b从图像中检取带电粒子束的射束轮廓；以及c根据射束轮廓确定能谱或能宽。本文描述的进一步实施例涉及一种经配置为确定带电粒子束的能谱或能宽的带电粒子束成像装置，特别是根据本文描述的方法中的任一者。
主权项：1.一种确定由聚焦透镜朝向样品平面聚焦的带电粒子束的能谱或能宽的方法，所述方法包含：a引入所述带电粒子束的能量相关偏转，所述能量相关偏转导致光斑沿着所述样品平面中的色散轴变宽，并且使用所述带电粒子束获取布置在所述样品平面中的样品的图像；b从所述图像检取所述带电粒子束的射束轮廓；以及c根据所述射束轮廓确定所述能谱或所述能宽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ICT半导体集成电路测试有限公司 确定带电粒子束的能谱或能宽的方法以及带电粒子束成像装置
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