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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
摘要：本发明涉及一种多极元件。特别地，本发明涉及一种用于例如扫描电子显微镜等粒子束系统以产生磁多极场或产生电‑磁多极场的多极元件。该多极元件包括：环绕该多极元件的中心轴线的管；布置在该管外部的外部空间组件和布置在管内的真空空间组件。该外部空间组件包括：环绕该管的导磁性周向极片；多个导磁性支撑件，该多个导磁性支撑件被布置成围绕该中心轴线分布并且从该周向极片延伸直至该管的外壁表面；以及多个线圈。该真空空间组件包括多个导磁性极片，该多个导磁性极片被布置成围绕该中心轴线分布并且从该管朝该中心轴线的方向延伸。
主权项：1.一种多极元件1，1A，包括：环绕该多极元件1，1A的中心轴线5的管3；外部空间组件7和真空空间组件9，该外部空间组件相对于从该中心轴线5垂直延伸的径向方向R布置在该管3外部，该真空空间组件相对于该径向方向R布置在该管3内，该外部空间组件7包括：导磁性周向极片11，该导磁性周向极片在周向方向U上环绕该管3，该周向方向U垂直于该中心轴线5和该径向方向R定向，多个导磁性支撑件13，该多个导磁性支撑件被布置成围绕该中心轴线5分布并且从该周向极片11与该径向方向R相反地延伸直至该管3的外壁表面15；以及多个线圈17；该真空空间组件9包括：多个导磁性极片19，该多个导磁性极片被布置成围绕该中心轴线5分布并且从该管3与该径向方向R相反地延伸；其中，所述极片19的平均电位与所述支撑件13的电位之间的电位差为至少2kV；和或其中，所述极片19的平均电位与该周向极片11的电位之间的电位差为至少2kV。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 多极元件、图像误差校正器和粒子束系统
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