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一种酸煮去应力装置及酸煮退火去应力方法 

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申请/专利权人:成都新源汇博光电科技有限公司;成都晶镭光电有限公司

摘要:本发明公开了一种酸煮去应力装置及酸煮退火去应力方法,至少包括但不限于加热组件、第一盛放槽和第二盛放槽;所述第二盛放槽设置在第一盛放槽中,所述第一盛放槽中设置有对第二盛放槽进行举高的支撑架;所述第一盛放槽中设置有加热介质,所述第二盛放槽中设置的酸性介质,所述第二盛放槽中还设置有工对晶体棒进行限制的支撑结构;本方案通过恒温加热的方式对酸性介质进行加热,避免局部高温引起酸性介质的暴沸,可以温和的对酸性介质进行加热,并且对第二盛放槽中的晶体棒进行应力去除,同时在第二盛放槽中设置支撑结构,可以将每个晶体棒进行隔离,避免在酸煮去应力的过程中,晶体棒之间发生碰撞,造成晶体棒的损伤。

主权项:1.一种酸煮去应力装置,其特征在于,至少包括但不限于加热组件、第一盛放槽和第二盛放槽;所述第二盛放槽设置在第一盛放槽中,所述第一盛放槽中设置有对第二盛放槽进行举高的支撑架;所述第一盛放槽中设置有加热介质,所述第二盛放槽中设置有酸性介质,所述第二盛放槽中还设置有针对晶体棒进行限制的支撑结构。

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