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一种电子级氢氟酸除杂工艺 

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申请/专利权人:浙江森田新材料有限公司

摘要:本发明提供一种电子级氢氟酸除杂工艺,涉及氢氟酸制备技术领域。本发明,该电子级氢氟酸除杂工艺,将质量分数一定的无水氟化氢溶液、质量分数一定的氢氟酸稀溶液、质量分数一定的过氧化氢溶液以及质量分数一定的高分子螯合剂溶液置于再沸器内进行氧化处理;将S1中氧化处理后的混合液体,进行搅拌,完成搅拌后静置。本发明,实现了通过利用对无水氟化氢进行氧化,使三价态砷离子转化为五氟化砷,以便通过精馏将砷元素进行除杂,同时配合螯合剂对金属离子以及络合物进行螯合,实现对氢氟酸进行深度金属离子的脱除。

主权项:1.一种电子级氢氟酸除杂工艺,包括以下步骤:S1、将质量分数一定的无水氟化氢溶液、质量分数一定的氢氟酸稀溶液、质量分数一定的过氧化氢溶液以及质量分数一定的高分子螯合剂溶液置于再沸器内进行氧化处理;S2、将S1中氧化处理后的混合液体,进行搅拌,完成搅拌后静置;S3、将S2中经过混合后的液体进行过滤,除去大颗粒杂质;S4、将S3中过滤得到的液体通入精馏塔进行精馏,从精馏塔中得到氟化氢液体;S5、将S4中得到的氟化氢液体进行再过滤后,通入吸收塔后再由电子级超纯水进行吸收,从而得到电子级氢氟酸。

全文数据:

权利要求:

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