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申请/专利权人:中国电子科技集团公司第二十九研究所
摘要:本发明公开了一种LTCC基板的无压式约束烧结方法,包括:基于LTCC即低温共烧陶瓷技术进行生瓷层压时,在生瓷胚体上表面设置强制压片对凸起部分强制加压,得到表面平整的LTCC胚体;将所述LTCC胚体、随动支撑块以及约束压板按照相对位置摆放在承烧板上;所述随动支撑块设置有多个,且均匀设置在LTCC胚体四周;所述约束压板设置在LTCC胚体正上方,并由随动支撑块支撑且不与LTCC胚体接触;基于LTCC共烧设备和烧结条件,对设置好随动支撑块和约束压板的LTCC胚体进行烧结,实现高平整度的LTCC陶瓷基板烧制。本发明可降低基板在烧结过程中的翘曲情况,提升LTCC基板最终平整度。
主权项:1.一种LTCC基板的无压式约束烧结方法,其特征在于,包括:基于LTCC即低温共烧陶瓷技术进行生瓷层压时,在生瓷胚体上表面设置强制压片对凸起部分强制加压,得到表面平整的LTCC胚体;将所述LTCC胚体、随动支撑块以及约束压板按照相对位置摆放在承烧板上;所述随动支撑块设置有多个,且均匀设置在LTCC胚体四周;所述约束压板设置在LTCC胚体正上方,并由随动支撑块支撑且不与LTCC胚体接触;基于LTCC共烧设备和烧结条件,对设置好随动支撑块和约束压板的LTCC胚体进行烧结,实现高平整度的LTCC陶瓷基板烧制。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国电子科技集团公司第二十九研究所 一种LTCC基板的无压式约束烧结方法
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