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申请/专利权人：上海航天技术基础研究所
摘要：本发明的基于钛膜层标尺的铜凸量化检测样品制备和评估方法，以同心圆和半径将晶圆划分成多个区域，各区域内均有一TSV铜凸量化检测样品区；位于相同两条半径之间的各区域，区域内的样品区布置在同一半径上；每个样品区均包含多个阵列排布的TSV；在TSV内交替电镀铜柱和溅射钛膜，形成钛膜隔离的孔深不同百分比分层的铜柱；选取第一半径上的各样品区，剖面制样并表征记录尺寸和形貌，作为检测初值；选取第二半径上的各样品区进行交变高低温测试，用作明确高低温边界；剩余的样品区分组进行温度循环测试，绘制三维试验数据，分析评估不同铜柱区域随温度循环次数和晶圆上位置变化趋势。本发明为准确评估TSV铜凸提供了量化标尺和评估技术。
主权项：1.基于钛膜层标尺的铜凸量化检测样品制备和评估方法，其特征在于，包括：1铜凸量化检测样品的制备1-1在晶圆上设计径线式阵列式TSV铜凸量化检测样品区；以同心圆和半径将晶圆划分成多个区域，在每个区域内选择一个子区域作为TSV铜凸量化检测样品区；位于相同两条半径之间的各区域，区域内的TSV铜凸量化检测样品区布置在同一半径上；每个TSV铜凸量化检测样品区均包含多个阵列排布的TSV；1-2按设计的径线式阵列式TSV铜凸量化检测样品区，在晶圆上制作TSV；1-3对径线式阵列式TSV铜凸量化检测样品区中每个TSV，在TSV内交替电镀铜柱和溅射钛膜，在TSV内形成钛膜隔离的孔深不同百分比分层的铜柱；2铜凸量化检测评估2-1选取第一半径上的各TSV铜凸量化检测样品区，沿径向切割各TSV铜凸量化检测样品区，采用扫描电镜获取距离圆心不同距离的通孔剖面形貌图像，测量钛膜形成的钛线的高度，获得的钛线高度数据即为铜凸量化评估标尺；2-2选取第二半径上的各TSV铜凸量化检测样品区进行交变高低温测试，并将测试结果与步骤2-1的结果进行比对；2-3将剩余的TSV铜凸量化检测样品区分成多组，进行不同温度循环条件、不同次数的温度循环测试，对测试结果进行数据分析，并与步骤2-1的结果进行比对。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海航天技术基础研究所 基于钛膜层标尺的铜凸量化检测样品制备和评估方法
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