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用于对称横向激发的体声学谐振器的光栅结构 

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申请/专利权人:株式会社村田制作所

摘要:提供了一种声学谐振器件,包括:基板;压电层,具有前表面和后表面,后表面由基板支撑;导体图案,在压电层的前表面处,并且包括叉指换能器IDT,IDT包括第一母线、第二母线和交错IDT指状物,IDT指状物包括在IDT的相对端处的第一IDT指状物和第nIDT指状物;第一光栅元件,包括从第一母线或第二母线之一延伸的光栅条,第一光栅元件与第一IDT指状物相邻且平行;前侧介电层,在压电层的前表面处;以及后侧介电层,在压电层的后表面处。

主权项:1.一种声学谐振器件,包括:基板;压电层,具有前表面和后表面;前侧介电层,在所述压电层的前表面处;后侧介电层,在所述压电层的后表面处,所述后侧介电层将所述基板耦接到所述压电层的后表面;导体图案,在所述压电层的前表面处,所述导体图案包括叉指换能器IDT,所述IDT包括第一母线、第二母线和交错IDT指状物,所述交错IDT指状物包括在所述IDT的相对端处的第一IDT指状物和第nIDT指状物;第一光栅元件,包括从所述第一母线或所述第二母线之一延伸的光栅条,所述第一光栅元件与所述第一IDT指状物相邻且平行,其中,所述后侧介电层的声学厚度在所述前侧介电层的声学厚度的0.5倍与所述前侧介电层的声学厚度的1.5倍之间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社村田制作所 用于对称横向激发的体声学谐振器的光栅结构

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