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申请/专利权人:洛阳汇晶新材料科技有限公司
摘要:一种旋转靶材挤压设备,包括缸体、芯轴、背管、压套和压力传递介质;其中,缸体和芯轴具有缩径结构,背管同轴螺接在芯轴具有缩径结构的一端;所述旋转靶材安装在缸体与芯轴之间,压套与缸体、芯轴滑动配合,用于通过压力传递介质对旋转铜靶材进行施压,使旋转铜靶经缩径后套在背管上。一种旋转靶材与背管的绑定方法,将旋转靶材加热并放入挤压设备内,通过压力传递介质对旋转靶材进行施压,使旋转靶材经缩径后套在背管上,经冷却后实现旋转靶材与背管的绑定。本发明一是通过缩径挤压的方式提高旋转靶材的致密度;二是巧妙地通过缩径挤压和热胀冷缩,实现了旋转靶材与背管的绑定;三是不产生压余材料,提高了靶材的利用率。
主权项:1.一种旋转靶材挤压设备,其特征是:包括缸体、芯轴、背管、压套和压力传递介质;其中,缸体和芯轴具有缩径结构,背管同轴螺接在芯轴具有缩径结构的一端;所述旋转靶材安装在缸体与芯轴之间,压套与缸体、芯轴滑动配合,用于通过压力传递介质对旋转铜靶材进行施压,使旋转铜靶经缩径后套在背管上。
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