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申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所

摘要：本发明涉及一种双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置，其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒，且所述壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口且外壁与真空腔体底端密封连接，所述壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件，且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接，在真空腔体顶端一侧设有抽真空系统、另一侧设有气压采集系统，在真空腔体外壁上对称设有两个凹板电极，在真空腔体一侧设有射频供电系统，且两个凹板电极均与射频供电系统相连。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸气剂激活时间长的缺点，且射频放电产生的等离子体能改善加强吸气剂吸气速率。

主权项：1.一种双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置，其特征在于：包括依次连接的供气系统（29）、扩压器（7）和真空腔体（1），其中真空腔体（1）中设有壁面带孔空心圆筒（19），且所述壁面带孔空心圆筒（19）上端密封、下端开口且外壁与真空腔体（1）底端密封连接，所述壁面带孔空心圆筒（19）中设有电加热元件（5），且所述电加热元件（5）下端由壁面带孔空心圆筒（19）下端开口伸出至真空腔体（1）外与外电源连接，在真空腔体（1）顶端一侧设有抽真空系统（28）、另一侧设有气压采集系统（27），在真空腔体（1）外壁上对称设有两个凹板电极（24），在真空腔体（1）一侧设有射频供电系统（26），且两个凹板电极（24）均与所述射频供电系统（26）相连；所述真空腔体（1）底端设有叠置在一起的底端密封法兰上盖（2）和底端密封法兰下盖（3），且所述壁面带孔空心圆筒（19）下端穿过所述底端密封法兰上盖（2）后与所述底端密封法兰下盖（3）固连，所述底端密封法兰下盖（3）接地，且所述底端密封法兰下盖（3）上设有供电加热元件（5）插入对应壁面带孔空心圆筒（19）的直通接口；所述凹板电极（24）呈与所述真空腔体（1）外壁配合的凹型弧状，所述射频供电系统（26）包括依次串联的射频电源（21）和匹配器（22），且所述匹配器（22）分别通过不同的同轴传输线（23）与两个凹板电极（24）连接，并且其中一个同轴传输线（23）与地线（25）连接；抽真空系统（28）先抽取真空腔体（1）内的气体，然后壁面带孔空心圆筒（19）内的吸气剂通过电加热元件（5）加热激活，然后射频供电系统（26）启动使输出功率通过两个凹板电极（24）作用于真空腔体（1）内，并使真空腔体（1）内产生等离子体。

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百度查询： 中国科学院大连化学物理研究所 双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置