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申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
摘要：本发明公开了一种等离子体密度控制系统及方法，包括离子源、反应腔室、挡片机构和法拉第杯组；法拉第杯组设在与屏栅正对应的反应腔室壁面上，包括法拉第杯安装架和至少N个法拉第杯；N个法拉第杯与屏栅上N组屏栅环状孔的位置相对应；挡片机构包括驱动装置控制器和至少两组挡片组件；每组挡片组件均包括若干个挡片和挡片驱动装置；若干个挡片均沿放电腔尾端周向均匀布设；每个挡片均能旋转伸入放电腔内，遮挡进入屏栅环状孔的等离子体；挡片组件间的挡片交替布设，挡片组件间的挡片形状不同。本发明能对离子源引出的离子束密度进行测量，并对等离子体密度进行实时控制，有效解决由于工艺条件改变而导致的刻蚀不均匀问题，并减小生产成本。
主权项：1.一种等离子体密度控制系统，其特征在于：包括离子源、反应腔室、挡片机构和法拉第杯组；离子源包括从外至内同轴设置的离子源腔和放电腔，在离子源腔的尾端设置屏栅；屏栅沿径向布设有N组屏栅环状孔；法拉第杯组包括法拉第杯安装架和至少N个法拉第杯；法拉第杯安装架设置在与屏栅正对应的反应腔室壁面上；其中的N个法拉第杯与N组屏栅环状孔的位置相对应；挡片机构包括驱动装置控制器和至少两组挡片组件；每组挡片组件均包括若干个挡片和挡片驱动装置；若干个挡片均沿放电腔尾端周向均匀布设；每个挡片均能在挡片驱动装置的驱动下，旋转伸入放电腔内，遮挡进入屏栅环状孔的等离子体；挡片组件间的挡片交替布设，挡片组件间的挡片形状不同；所有挡片驱动装置和所有法拉第杯均与驱动装置控制器相连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鲁汶仪器股份有限公司 一种等离子体密度控制系统及方法
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