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申请/专利权人：无锡电基集成科技有限公司

摘要：本发明涉及半导体加工设备领域，尤其涉及一种等离子清洗设备用翻转装置，包括翻转机构、载片机构和传送机构，所述翻转机构用于带动载片机构进行翻转，所述载片机构设于翻转机构上，用于承载待清洗产品，所述传送机构用于将载片机构上的待清洗产品送入等离子清洗设备。本发明装置结构简单，能够实现对待清洗产品的接料、翻转和送料，操作简便，翻转效率高，并且翻转过程中不会对产品带来污染，清洗效果好。

主权项：1.一种等离子清洗设备用翻转装置，其特征在于：包括翻转机构、载片机构和传送机构；所述翻转机构用于带动载片机构进行翻转；所述载片机构设于翻转机构上，用于承载待清洗产品；所述传送机构用于将载片机构上的待清洗产品送入等离子清洗设备；所述翻转机构包括第一水平板、第二水平板、两个支撑板、轴心杆、两个第一轴承座、第一联轴器、翻转伺服马达和第一马达座，所述两个支撑板相对竖直设置且底部分别固定于第一水平板的两侧，所述两个第一轴承座对称设置于第二水平板下表面的两侧，所述轴心杆水平设置，所述轴心杆的一端穿过一侧的支撑板上部后与该侧的第一轴承座连接，另一端穿过另一侧的支撑板上部和第一轴承座后通过第一联轴器与翻转伺服马达的输出轴连接，所述翻转伺服马达通过第一马达座固定于支撑板上，设有第一马达座的支撑板的上部两侧对称设置有两个光纤传感器，所述第二水平板位于第一马达座一侧的侧面上设有挡片，所述挡片位于任一光纤传感器的前方；所述载片机构包括沿轴心杆方向依次设置在第二水平板上表面的多组轨道组，每组轨道组包括两条相对设置的轨道，两条轨道相对的侧面上开设有载片槽，每条轨道上部两侧安装有推拉式电磁铁，所述推拉式电磁铁位于载片槽上方，每条轨道下部一侧开设有用于安装传送机构的安装孔且安装孔位于载片槽下方；所述传送机构包括多个传动轮组、传动轴心杆、两个第二轴承座、第二联轴器、传送伺服马达和第二马达座，多个传动轮组分别设置于多个安装孔内，每个传动轮组包括主动轮、从动轮和皮带，所述皮带套接在主动轮和从动轮上，所述两个第二轴承座分别设置于多组轨道组中位于最外侧的两条轨道的外面上，所述传动轴心杆串连多个主动轮后，一端与一个第二轴承座连接，另一端穿过另一个第二轴承座后通过第二联轴器与传送伺服马达的输出轴连接，所述传送伺服马达通过第二马达座固定于最外侧的轨道上且第二马达座位于第一马达座上方。

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