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申请/专利权人：因林光电科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种分布式反馈激光器及其制备方法，分布式反馈激光器包括：激光器外延结构，激光器外延结构包括衬底以及位于衬底一侧的多层外延层；位于上接触层远离衬底一侧的第一电极层；其中，第一电极层、上接触层和部分上光场限制层形成脊形结构和光栅结构组，光栅结构组位于脊形结构两侧；光栅结构组包括至少两个沿第一方向排列的子光栅结构，存在两个子光栅结构的光栅周期L不同；至少两个子光栅结构包括至少一个公共激射模式；第一方向与衬底所在平面平行；位于衬底远离外延层一侧的第二电极层。本发明有效降低器件制备难度和制备成本，降低器件的光损耗，增加光栅制备精度，显著提升器件的性能。
主权项：1.一种分布式反馈激光器，其特征在于，包括：激光器外延结构，所述激光器外延结构包括衬底以及位于所述衬底一侧的多层外延层，多层所述外延层包括中间外延层以及依次位于所述中间外延层远离所述衬底一侧的上光场限制层和上接触层；位于所述上接触层远离所述衬底一侧的第一电极层；其中，所述第一电极层、所述上接触层和部分所述上光场限制层形成脊形结构和光栅结构组，所述光栅结构组位于脊形结构两侧；所述光栅结构组包括至少两个沿第一方向排列的子光栅结构，存在两个所述子光栅结构的光栅周期L不同；至少两个所述子光栅结构包括至少一个公共激射模式；所述第一方向与所述衬底所在平面平行；位于所述衬底远离所述外延层一侧的第二电极层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 因林光电科技(苏州)有限公司 一种分布式反馈激光器及其制备方法
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