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申请/专利权人：睿晶半导体(宁波)有限公司
摘要：本申请公开了一种机械手臂、曝光装置和光罩生产装置，所述机械手臂包括：手臂主体；抓手主体，固定在手臂主体的端部，用于抓取光罩；阻挡薄片，所述阻挡薄片的一端固定在所述手臂主体上，且所述阻挡薄片悬空在所述抓手主体的上方，所述阻挡薄片中或上表面具有感测部件，所述感测部件用于在对所述阻挡薄片的上表面进行是否存在污染物的检测时，产生感测电信号；探测器，与所述感测部件电连接，用于基于所述感测电信号判断所述阻挡薄片的上表面是否存在污染物。本申请的机械手臂，一方面，能阻挡污染物从手臂上方掉落到抓手主体抓取的光罩表面，另一方面，能实时检测生产设备中的内部环境状况。
主权项：1.一种机械手臂，其特征在于，包括：手臂主体；抓手主体，固定在手臂主体的端部，用于抓取光罩；阻挡薄片，所述阻挡薄片的一端固定在所述手臂主体上，且所述阻挡薄片悬空在所述抓手主体的上方，所述阻挡薄片中或上表面具有感测部件，所述感测部件用于在对所述阻挡薄片的上表面进行是否存在污染物的检测时，产生感测电信号；探测器，与所述感测部件电连接，用于基于所述感测电信号判断所述阻挡薄片的上表面是否存在污染物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 睿晶半导体(宁波)有限公司 机械手臂、曝光装置和光罩生产装置
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