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申请/专利权人：航能芯热(太仓)科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体加热盘技术领域，尤其涉及一种具有瞬态功能的半导体加热盘。其技术方案包括：底座、可拆装安装于底座上的封盖、固定安装于底座上的用于承托晶圆的承托盘，还包括：所述封盖上固定安装有热气箱和冷气箱，气流引导系统，所述气流引导系统控制热气箱内的气体均匀的通过承托盘并进行循环流动，并控制冷气箱内的气体快速的与承托盘上的晶圆进行接触。本实用新型通过气流引导系统，提高对热气的加热效率，降低热气的热量损耗，引导气流均匀的分布在晶圆上方，从而可以保证对晶圆与气体接触的稳定性和均匀性。
主权项：1.一种具有瞬态功能的半导体加热盘，包括底座（1）、可拆装安装于底座（1）上的封盖（2）、固定安装于底座（1）上的用于承托晶圆的承托盘（7），其特征在于，还包括：所述封盖（2）上固定安装有热气箱（3）和冷气箱（4），所述热气箱（3）对热气箱（3）内的气体进行加热，所述冷气箱（4）对冷气箱（4）内的气体进行降温；气流引导系统，所述气流引导系统安装于底座（1）和封盖（2）上，所述气流引导系统控制热气箱（3）内的气体均匀的通过承托盘（7）并进行循环流动，并控制冷气箱（4）内的气体快速的与承托盘（7）上的晶圆进行接触。
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百度查询： 航能芯热(太仓)科技有限公司 一种具有瞬态功能的半导体加热盘
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