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申请/专利权人：刘克迅
摘要：本实用新型公开一种光斑旋转编码器装置，特指一种用于光学光斑影像取像装置上，配合短距测高仪组合成高精度编码器，可安装至各种机械的机台旋转轴上，可以检测ISO230‑7定义的旋转轴各项误差，达到高精度编码器的角度定位，且不需要现有的光栅设置，也免除了现有技术后续的补偿加工，特别适合使用在极精密测量及定位如半导体设备等技术工程上。光斑旋转编码器装置包括一具有粗糙平面的旋转平台、一光斑测头及多个短距测高仪，通过使光斑测头在旋转平台的旋动中，留下光斑的轨迹定位，以进行角度的编码测量。
主权项：1.一种光斑旋转编码器装置，其特征在于，至少包含有:一具有粗糙平面的旋转平台，该旋转平台的中心被一机械基座上的转轴所传动而旋转，以供激光照射获取光斑；一光斑测头，内部设置一激光光源，以一斜角度射出光线于该旋转平台形成光斑，并使该形成光斑的光线再被反射至另一角度，而该角度上设有一镜头及影像传感器组，该反射的光线并被该镜头及影像传感器组所接收，并连接一具有影像分析功能的计算机以进行后续处理；且该光斑测头置于该旋转平台的上平面、下平面、外环侧面的其中之一处的前方，以进行激光投射而形成光斑；四个短距测高仪，分别固定设在光斑测头的四个角落，且该短距测高仪能够分别自其端部测得与旋转平台间的距离，且令该四个短距测高仪的端部以俯视观之，构成一个正四方形，而光斑测头所射出的光线打在旋转平台所形成的光斑，恰位于该四个短距测高仪端部所构成的正方形中央；据此，使该光斑测头在该旋转平台的旋动中，留下光斑的轨迹定位，以进行角度的旋转编码测量。
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