买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
摘要:本实用新型公开了一种防微振等级可达VC‑D级的光刻机基础座,包括镭射基础座、主机台基础座和晶片夹持基础座,所述的主机台基础座包括混凝土钢构框架A和设于混凝土钢构框架A内部的钢筋网A,所述的混凝土钢构框架A包括顶板A和多个竖向设置的支撑柱A,多个支撑柱A并列、间隔设置于顶板A的底部,所述的钢筋网A包括水平钢筋网A和数量与支撑柱A数量相一致的竖向钢筋网A,所述的水平钢筋网A水平设于顶板A的下方,所述的竖向钢筋网A竖向设置于对应支撑柱A内,且竖向钢筋网A的顶部与水平钢筋网A的底部焊接固定。本实用新型提供的光刻机基础座,防微振等级可达VC‑D级要求,具有结构简单、相对轻质、制作和使用方便等优点。
主权项:1.一种防微振等级可达VC-D级的光刻机基础座,包括从左到右依次排列的镭射基础座、主机台基础座和晶片夹持基础座,其特征在于:所述的主机台基础座包括混凝土钢构框架A和设于混凝土钢构框架A内部的钢筋网A,所述的混凝土钢构框架A包括顶板A和多个竖向设置的支撑柱A,多个支撑柱A并列、间隔设置于顶板A的底部,所述的钢筋网A包括水平钢筋网A和数量与支撑柱A数量相一致的竖向钢筋网A,所述的水平钢筋网A水平设于顶板A的下方,所述的竖向钢筋网A竖向设置于对应支撑柱A内,且竖向钢筋网A的顶部与水平钢筋网A的底部焊接固定。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 协伟集成电路设备(上海)有限公司 一种防微振等级可达VC-D级的光刻机基础座
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。