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一种适用于激光泵浦源耦合操作的六轴运动工作台 

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申请/专利权人:武汉楚芯半导体科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种适用于激光泵浦源耦合操作的六轴运动工作台,涉及到激光设备领域,包括支撑架,支撑架的一侧固定安装有连接板,连接板上安装有转动结构,转动结构上安装有固定板,固定板上安装有角度调节结构,角度调节结构上安装有固定导板。本实用新型,通过连接转盘、调节架、连接架等结构的设置,利用连接架与L型支架能够实现工作台的伸缩与水平位置的调节,而通过固定架、调节架与活动架的配合能够对工作台的垂直以及水平角度进行调整,并且配合连接转盘能够使工作台具有旋转的功能,从而使工作台具有六轴调节的效果,在进行耦合操作时可以将芯片放在工作台上,方便根据芯片的加工位置进行调整,调节范围更广。

主权项:1.一种适用于激光泵浦源耦合操作的六轴运动工作台,包括支撑架100,其特征在于:所述支撑架100的一侧固定安装有连接板200,连接板200上安装有转动结构,转动结构上安装有固定板300,固定板300上安装有角度调节结构,角度调节结构上安装有固定导板400,固定导板400上安装有伸缩调节结构。

全文数据:

权利要求:

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