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申请/专利权人：联策科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种研磨垫检测装置及系统。研磨垫检测装置与化学机械研磨系统配合，化学机械研磨系统具有研磨垫。研磨垫检测装置包括运算单元；光源与运算单元电性连接，光源发射光线，光线照射研磨垫的部分；及相机与运算单元电性连接，相机拍摄研磨垫的部分，并产生影像信息。
主权项：1.一种研磨垫检测装置，其特征在于，与至少一种化学机械研磨系统配合，所述化学机械研磨系统具有研磨垫，所述研磨垫检测装置包括：运算单元；第一光源，与所述运算单元电性连接，所述第一光源发射光线，所述光线照射所述研磨垫的一部分；及第一相机，与所述运算单元电性连接，所述第一相机拍摄所述研磨垫的所述部分，并产生影像信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 联策科技股份有限公司 研磨垫检测装置及系统
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