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一种用于钙钛矿太阳电池制备的旋涂装置 

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申请/专利权人:深圳豪威显示科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种用于钙钛矿太阳电池制备的旋涂装置,包括底座和晶片,所述底座的顶部设置有涂覆调整机构,所述涂覆调整机构包括安装于所述底座内部的输送带,所述输送带的顶部活动连接有安装块,所述安装块的内部设置有用于安装晶片并带动其旋转的载物调节组件,所述底座的顶部固定连接有固定架。该用于钙钛矿太阳电池制备的旋涂装置,可利用设置的输送带使得晶片能够随着安装块从左向右活动,以便于分别进行晶片的涂覆和烘干操作,从而有效减少涂覆结构和烘干结构的工作间歇,且晶片的安放和收取在不同的位置,从而方便在实现光刻胶制备、涂覆和烘干三道工序的集中处理时,使得设备能够持续运转,进而有效提高工作效率,增强装置的实用性。

主权项:1.一种用于钙钛矿太阳电池制备的旋涂装置,包括底座1和晶片15,其特征在于:所述底座1的顶部设置有涂覆调整机构;所述涂覆调整机构包括安装于所述底座1内部的输送带2,所述输送带2的顶部活动连接有安装块16,所述安装块16的内部设置有用于安装晶片15并带动其旋转的载物调节组件,所述底座1的顶部固定连接有固定架3,所述固定架3的内侧活动连接有滴胶管6,所述固定架3的内侧设置有用于调整滴胶管6位置的提降组件;所述固定架3的内部固定连接有安装架19,所述安装架19的底部固定连接有热光灯20,所述固定架3的顶部设置有用于实现混胶的混胶组件,所述固定架3的内部设置有用于光刻胶输送的送胶组件。

全文数据:

权利要求:

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